小型等离子清洗机

等离子体表面处理仪

  • 产品编号:TS-PL10
  • 产品规格: 等离子体表面处理仪
  • 产品用途:

    等离子表面清洗改性,活化

产品介绍

型号 等离子体表面处理仪TS-PL10
外形尺寸 660Wx700Dx560H(mm)
腔体尺寸 200*200*270mm
腔体材质 316不锈钢
真空泵 干泵/油泵(可选)
等离子体发生器 40KHz/13.56MHz

等离子体表面处理仪产品特点:

进口316不锈钢材质,密封性卓越的真空腔体设计,军工级的高真空度真空腔体设计及制造工艺,并配置进口技术真空泵运行。

原装进口电源:采用原装进口电源电路技术,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果,40kHZ,1356MHz可选,功率0-600W连续调节,自动阻抗匹配。

独有放电技术:特殊处理及特殊结构的放电装置,确保形成稳定均匀的等离子体。

高精度气体流量监测系统,两种工艺气体配置(氩气、氧气),双路气流控制,比例可调,采用高精度浮子流量计、美国世维洛克气体管路及阀件。

自主研发的低压(真空)等离子清洗机软件系统,性能稳定可靠,操作简单,便于维护,高效便捷。

强大的全面安全防护系统:温度安全防护功能,过载防护功能,短路断路报警防护功能,各种误操作保护功能。

等离子体表面处理仪原理:

等离子体是指电离气体,是电子、离子、原子、分子或自由基等粒子组成的集合体 。清洗时高能电子碰撞反应气体分子,使之离解或电离,利用产生的多种粒子轰击被清洗表面或与被清洗表面发生化学反应,从而有效地清除各种污染物;还可以改善材料本身的表面性能,如提高表面的润湿性能和改善膜的粘着力等,这在许多应用中都是非常重要的。

等离子体表面处理仪常见应用:

石墨烯粉末清洗、改性,去除粉末杂质和油质,增加表面亲水基团(—OH)(-COOH)提高亲水性
金属工件表面油污等离子清洗,不损伤样品,去除表面有机污染物
PDMS键合前等离子活化改性,提升亲水性和键合力
高分子材料表面改性、接枝,改善亲水性,提高表面能

等离子体表面处理仪具有以下明显优点:

(1) 处理温度低, 处理时间短, 节约能耗, 可缩短工艺流程;

(2) 处理过程中不使用酸碱等化工原料, 避免了高温潮湿的生产环境;

(3) 处理深度仅为数百埃到几纳米, 不影响基体的固有性质;

(4) 处理过程属于干法处理, 可大幅降低水资源消耗, 对节约水资源有重要的社会经济意义;

(5) 处理过程中无三废排放, 既保护了环境, 又节约了企业的治污费用, 符合国家的环保政策;

(6) 可采用不同的气体介质进行处理, 对材料最终的表面化学结构和性质有较好的可控性。

经等离子体表面处理仪清洗后器件表面是燥的,不需要再处理,可以提高整个工艺流水线的处理效率;可以使操作者远离有害溶剂的伤害;等离子可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗,因此不需要过多考虑被清洗物件的形状;还可以处理各种材质,尤其适合不耐热以及不耐溶剂的材质。