产品介绍

产品参数：

设备特点：

进口不锈钢316材质真空腔体：军工级别密封，避免气体泄露，又实现高效卓越的真空度，为等离子体创造极佳的反应条件。

采用进口品牌技术等离子射频电源，13.56Mhz,确保高能量，高密度，均匀等离子体产生，确保出众的表面处理效果。

高精度气体流量监测系统，两路工艺气体配置(氩气、氧气），双路气流控制，比例可调。

进口高频抗击穿陶瓷，独有放电技术，特殊处理及特殊结构的放电装置，保障高耐用性和绝对安全，

自主研发等离子体控制系统: 可根据腔体环境精准控制等离子体发生时间和反应强度，可进行多步工艺流程处理，采用欧姆龙、施耐德等进口品牌电器元件, 有手动、自动两种控制模式，10.7”真彩触摸屏，可编程控制器，可在线设定、修改、监控真空压力、处理时间、气体流量、 等离子功率等工艺参数，并具有故障报警、工艺存储、密码锁定、系统维护等多种功能。

强大的全面安全防护系统：温度安全防护功能，过载防护功能，短路断路报警防护功能，非法操作提示、清洁结束提示，各种误操作保护功能等。

处理全程无污染，等离子体处理机本身是很环保的设备，无产生任何污染，处理过程也无产生任何污染。可以与原有生产流水线搭配，实现全自动在线生产，节约人力成本。