等离子体清洗技术利用高能量等离子体的轰击被清洗表面，通过物理作用使得污染物从金属表面脱落，同时，电离气体产生的活性粒子会与表面的有机物或者氧化物等发生化学反应进而生成易于挥发的物质，脱落物质通过真空泵的抽气作用排出以达到清洗的效果。