产品介绍

大型真空等离子清洗机产品参数：

大型等离子清洗机产品介绍：

大型等离子清洗机具有超大型真空处理腔室，适合大尺寸产品批次处理。等离子清洗机工作原理：在压力到达设定压力时，充入工艺气体，当腔内压力进出动态平衡时，利用等离子电源产生的中高频交变电磁场激发生成等离子体，对被清洗工件表面进行物理轰击与化学反应双重作用，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，而达到清洗目的。

大型真空等离子清洗机的工作流程如下：

(1) 打开舱门，将待清洗零件放置在支架上；

(2) 关好舱门，检查真空系统是否已经全部密封，随后启动机械泵开始对反应腔体抽气，使真空度低于 50Pa ；

(3) 按工艺要求即需要清除的污染物类型，选择相关气体种类具体可参照第二章 第四小节、根据抽气速度设定充气流量，并开始充气；

(4) 等到反应腔体内部的压强稳定后，输入输出功率打开射频电源，通过石英窗 可以观察到腔体内部开始产生等离子体后开始计时；

(5) 清洗时间到，关闭射频电源，关闭真空泵，放气，待腔体内部气压恢复到大气压后打开舱门取出零件。