在线式真空等离子清洗机

四轨道在线等离子清洗机

  • 产品编号:TS-PLZ1000
  • 产品规格: 在线等离子清洗机
  • 产品用途:

    LED,IC等微电子封装键合前清洗

产品介绍

产品参数:

型号 TS-PLZ1000
清洗平台 2个
真空腔体 1个
射频电源 13.56MHZ
射频功率 0-1000W可调
真空度 >10Pa
真空腔尺寸 580*330*35mm
工作轨道数 4条
单次片式产品清洗数量 4PC
适应产品规格 165-300(L)*28-100(宽)

产品特点:

针对LED,IC封装工序设计,可先择同时清洗4种不同宽度的产品;

轨道条数可以增加减少,或者根据材料宽度大小可灵活设计;

片式清洗,清洗效果更明显,更彻底;

单边上下料结构,无需更换料盒,清洗后的产品自动回到原来的料盒, 杜绝混批;

高度自动化作业,配备自动上片,传输,清洗,收片等功能,减少人员干预,降低二次污染风险。

双清洗托盘,一个清洗的同时另一个备料,提高生产效率;

一键更换产品,设备所有参数及设置自动加载,无需人工设定;

手动清洗与自动清洗均一键操作,操作使用更简单;

产品安全多重设计,确保人身安全,确保不会造成产品变形损坏;

模块化设计,国际品牌配置,确保设备稳定运行。

模块化设计,组件更换灵活,切换产品快速,运行过程实时监控,动画指示工作过程,一目了然,设备操作权限分级管理,便于管控。

采用13.56MHZ电源,清洗时间短,无溅射,温度低。

4条通道每个地方独立检测,准确判断问题所在,生产过程可管控,故障报警可追索,有提示,快速排查故障部位,便于维护;