产品介绍

 TS-PL15MA/P 晶圆等离子刻蚀机高配版

1.真空腔规格: 材质316不锈钢 L270mm*W280mm*H200mm

2.电极：平板气浴电极，材质6061-T6铝合金    功率电极：1    接地电极：1

3. 电极尺寸：230mm *230mm（最大可处理产品尺寸，可处理8寸晶圆）

4. 频率：13.56MHz

5. 功率：0-300W连续可调，可在设备运行中随时调整参数。

6. 气体控制：MFC质量流量计， 0-500ml 2路气体

7. 真空度测量仪器： 2色显示式高精度数字式压力开关（SMC）

8. 控制方式：7寸工业控制触摸屏，全手动控制和全自动控制两种控制方式

9. 控制软件功能：界面显示实时工作状态

10.设备规格尺寸：长600mm 宽600mm 高700mm

11.电极板配置：配备3个卡槽位（接地电极），极板间距离可调整，可按需求调整极板位置

TS-PL15MA 晶圆等离子刻蚀机标准版

1.真空腔规格: 材质316不锈钢 L270mm*W280mm*H200mm

2.电极：平板气浴电极，材质6061-T6铝合金    功率电极：1      接地电极：1

3. 电极尺寸：230mm *230mm（最大可处理产品尺寸，可处理8寸晶圆）

4. 频率：13.56MHz

5. 功率：0-300W连续可调，可在设备运行中随时调整参数。

6. 气体控制：精密针阀式浮子流量计， 0-1000ml 2路气体

7. 真空度测量仪器： 2色显示式高精度数字式压力开关（SMC）

8. 控制方式：4.3寸工业控制触摸屏，全手动控制和全自动控制两种控制方式

9. 控制软件功能：界面显示实时工作状态

10.设备规格尺寸：长600mm 宽600mm 高700mm

11.电极板配置：配备3个卡槽位（接地电极），极板间距离可调整，可按需求调整极板位置