真空等离子清洗机包括一个反应腔室、电源和真空泵组。样品放置反应腔室内，真空泵开始抽气至一定的真空度，电源启动便产生等离子体，然后气体通入到反应腔室，使腔室中的等离子体变成反应等离子体，这些等离子体与样品表面发生反应，生产可挥发的副产物，并由真空泵抽出。
材料表面常常会有油脂、油污等有机污物及氧化层，在粘合、焊接、喷漆前需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。等离子清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料(如：聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等，是没有极性的，这些材料在印刷、粘合、涂覆前要进行处理)等原基材料都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。