plasma表面处理设备
- 产品编号:TS-PL60MA
- 产品规格: plasma表面处理设备
- 产品用途:
plasma表面清洗、活化、改性、刻蚀、沉积、接枝与聚合
产品介绍
plasma表面处理设备产品参数:
名称 |
plasma表面处理设备 |
型号 |
TS-PL60MA |
外形尺寸(W×H×D) |
1000mm×1030mm×1630mm |
反应腔尺寸(W×H×D) |
400×400×450mm |
真空腔体材料 |
进口316不锈钢 |
真空泵 |
进口4L/S |
角阀 |
北仪 超真空40KF |
流量控制器及显示仪 |
0-500ml/min |
真空显示规管及读取器 |
Pirani |
射频电源 |
美国品牌 40KHZ、 13.56MHZ 、2.45GHZ |
PLC系统 |
三菱(包括PLC,A/D模组两组,D/A模块两组,温度模块) |
电气系统 |
施耐德 |
变频器 |
西门子2KW |
触摸屏 |
台湾威纶真彩10寸 |
陶瓷封装 |
进口高频陶瓷 |
处理气体 |
O2、Ar2、N2,H2、CF4 |
plasma表面处理设备原理:
plasma表面处理设备,英文叫(Plasma-Cleaner)又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机,等离子表面处理机,电浆清洗机,plasma清洗机,等离子去胶机,等离子清洗设备。适合各种基片、粉体或颗粒状材料的等离子表面改性处理,包括:等离子清洗、活化、刻蚀、沉积、接枝与聚合等。
通常物质以固态-液态,气态3种状态存在,而 Plasma是物质存在于3种物质状态之外的另一种状态,及在一些特姝的情况下物质原子内的电子脱离原子核的吸引,使物质呈为正负带电粒子状态。它的清洗原理就是在一组电极施以射频电压,区域内的气体被电极之间形成的高频交变电场激荡下,形成等离子体。活性等离子对被清洗物进行物理撞击或化学反应作用,使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质.然后在经过抽真空排出,以达到清洗目的。
Plasma清洗过程中与材料表面产生的反应主要有两种方式,一种是靠等离子对被清洗件表面作纯物理擅击作用。常用的气体有不活泼气体如氩气( Ar) ,氮气(N;)等。另一种则是靠等离子中的自由基来傲化学反应,常用的活泼气体有氢气(H,) .氧气(O,)等。
plasma表面处理设备产品特点:
1.环保技术:等离子体作用过程是气-?固相干式反应?,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。
2.广适性:不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理;
3.温度低:接近常温,特别适于高分子材料,比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。
4.功能强:仅涉及高分子材料浅表面(10um-1000um),可在保持材料自身特性的同时,赋予其一种或多种新的功能;
5.低成本:装置简单,易操作维修,可连续运行,往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。
6.全过程可控工艺:所有参数可由PLC设置和数据记录,进行质量控制。
7.处理物几何形状无限制:大或小,简单或复杂,部件或纺织品,均可处理。
plasma表面处理设备广泛应用于:
1.清洗Cleaning:去除材料表面的污染物和残留物
2.粘接Bonding:促进材料的粘合度
3.吸附Adhesion:利于材料表面进行涂层,涂漆等处理
4.聚合Polymerization:通过气态单体实现聚合
5.活化Activation:改变表面特性从而实现新的功能