1、等离子清洗机不发光

??可能原因：1真空泵是否正常运行；2、射频电源主板烧坏；

??处理措施：1、真空泵是否正常工作，查看真空压力表值是否达到正常压力值；如不能达到正常压强，则代表气路有漏气需重新检查气路是否固定好。

?2、打开设备右侧面板，检查射频电源主板绿色灯在设备正常运行下是否亮，如果不亮，请联系东信高科售后人员进行更换。

2、真空泵不工作

??可能原因：1、真空泵油不足；2、电机烧坏；3、真空泵磨损

??处理措施：1、清洗后，添加真空泵油；2、请联系我公司客服

3、清洗效果不良

??可能原因：1、等离子功率不够；2、选用不适合的反应气体

??解决措施1、调节功率旋钮，提高功率；2、工艺气体是否匹配合理；3、咨询我公司客服；

4、真空泵热过载保护，请检查线路和真空泵故障

??出现此情况请首先观察系统参数有无变化，设备突然断电会引起系统参数归零，导致设备出现此类报警。

??如系统参数无变化，请确认热继电器是否自动保护，按复位键，然后启动真空发生系统。如没有自动保护，请检查电气线路有无断路或短路情况。

??检查导线是否有断路或短路情况。

??如无上述异常，请检查真空泵。

5、放空气体压力过低，请检查气体是否开启或气体是否耗尽

??如出现此类报警请检查腔体底部的破真空所用气路电磁阀是否正常工作，线路有无断路或短路。

6、真空泵倒计时故障（机械故障），请检查真空泵抽空能力，故障排除点击复位键

??所处理产品有严重渗气情况，真空倒计时时间设备较短，无法在设备时间内抽到背底真空。

??检查真空门是否关到位

??逐级检查真空系统中各连接点，看是否有管道连接不良或损坏

??真空泵故障，需检查保养真空泵。

7、真空计故障报警，真空计故障或损坏，请检查并更换真空计

??检查真空计是否损坏，检查真空计控制线路是否有断路或短路。

8、急停未复位或已按下，请打开急停开关

??检查急停是否被按下，如没有此情况，请检查急停线路。

9、 CDA压力过低报警（破空气体压力低）

??此报警为压缩空气气压不足够报警，主要出现于配有高真空气动挡板阀（GDQ）的设备，出现此报警时需检查CDA是否正常供气至设备端。

??确认供气压力是否过高或过低，减压表的报警值是否设定正确。

??检查电气线路是否出现断路或短路。

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