等离子体处理仪
- 产品编号：TS-PL60MA
- 产品规格： 等离子体清洗仪
- 产品用途：
生物芯片领域；高分子材料研究
产品介绍
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型号 |
TS-PL60MA |
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外形尺寸（WDH)mm |
1000*1030*1630 |
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射频电源 |
13.56MHz |
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真空腔体 |
进口316不锈钢，军工级密封 |
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腔体尺寸 |
W400×H400×D450mm |
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工作真空度 |
5-70Pa |
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真空泵 |
油泵/干泵（选配） |
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真空管路组件 |
全不锈钢管路+波纹管 |
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内置水平式电极 |
380*380*15mm |
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气体流量监测系统 |
质量流量控制器 0-500ML |
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气体通道 |
2路，支持氧气，氩气，氮气，氢气，四氟化碳等 |
| 控制方式 | PLC+触摸屏 |
等离子体处理仪是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态，利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。
等离子体清洗仪产品特点：
不分处理对象的基材类型，对金属、半导体和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。