plasma等离子清洗机会导致金属表面被氧化吗？答案是跟所通入的清洗气体有关。等离子清洗的原理是在真空状态下使电极之间形成高频交变电场，区域内气体在高频交变电场的激荡下形成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行物理轰击和化学反应双重作用。

plasma等离子清洗机所通入的气体按照作用原理可将气体分为两类，一类是氢气、氧气等反应性气体；另一类是氩气、氦气、氮气等非反应性气体。其中氢气主要应用于清洗金属表面的氧化物，发生还原反应。氧气主要应用于清洗物体表面的有机物发生氧化反应。

假如通入的气体为惰性气体如氩气，就不会对产品金属表面产生氧化。氩气等离子清洗的机理是利用粒子动能产生的物理清洗效应。是纯物理作用、物理撞击可将表面高分子的键合打断，从而形成微结构粗糙面。如使用氩气利用正离子撞击方式使含C-H键的污染物脱离达到清洗效果。物理清洗方式是等离子溅射的一种轻微形式，溅射需要的输入能量比清洗要高。

假如通入的气体为氧气或者包含氧气的空气，这就会对产品表面造成一定程度的氧化。氧气等离子清洗主要是通过化学反应来清洗物质表面，通过氧化燃烧高分子聚合物和有机物，或者形成双键结构的官能团，可表面改性，并伴随一定的物理过程。

在有些金属表面清洗，是必需要用到氧气的情况下，例如金属表面有有机污染物，油污油脂之类的，我们可以先通入氧气对产品表面的有机污染物进行一个清洗去除掉。这个时候金属表面可能会被氧化，我们再次通过氢气清洗还原掉被氧化的物质。这种情况在产品表面本身就有氧化层的情况同样适用。在使用氢气的时候，一定要注意不能只通入纯氢，因为氢气的浓度过高会有一定的危险性。一般我们建议使用氩氢混合气体，将氩气的比例控制在95%，氢气的比例控制在5%，这样就不会有危险了。

总结如下，plasma等离子清洗机不一定会导致金属表面氧化，跟所通入的气体有关，在清洗表面氧化物时用纯氢虽然效率高，但这里主要考虑放电的稳定性和安全，在应用时选用氩氢混合较为合适，另外对于材料易氧化或易还原的材料也可以采用颠倒氧气和氩氢气体的清洗顺序来达到清洗彻底的目的。