光伏系统等离子防腐保护涂层等离子镀膜Plasma

  • 产品编号:TS-APR
  • 产品规格: 东信高科
  • 产品用途:

    光伏产业

产品介绍

光伏产业对清洁生产的要求非常苛刻。太阳能级的硅片虽然纯净度不需要达到电子级,但是6个9的纯度也还是很高的。在切片等过程中,硅片或多或少会接触到各种污染源,因此清洗显得至关重要。等离子清洗是经常用到的一种方法。

 

2.3 等离子体的种类

(1)低温和高温可分为高温等离子体和低温等离子体两类,在等离子体中,不同微粒的温度实际上是不同的,所具有的温度是与微粒的动能即运动速度质量有关,把等离子体中存在的离子的温度用Ti表示,电子的温度用Te表示,而原子、分子或原子团等中性粒子的温度用Tn表示,对于Te大大高于Ti和Tn的场合,即低压体气的场合,此时气体的压力只有几百个帕斯卡,当采用直流电压或高频电压做电场时,由于电子本身的质量很小,在电池中容易得到加快,从而可获得平均可达数电子伏特的高能量,对于电子,此能量的对应温度为几万度(K),而弟子由于质量较大,很难被电场加速,因此温度仅几千度。由于气体粒子温度较低(具有低温特性),因此把这种等离子体称为低温等离子体。 当气体处于高压状态并从外界获得大量能量时,粒子之间的相互碰撞频率大大增加,各种微粒的温度基本相同,即Te基本与Ti及Tn相同,我们把这种条件下得到的等离子体称为高温等离子体,太阳就是自己界中的高温等离子体。由于高温等离子体对物体表面的作用过于强强烈,因此在实际应用中很少使用,目前投入使用的只有低温等离子体,因为在本文中将低温等离子体简称为等离子体,希望不会引起读者误解。

(2)活泼气体和不活泼气体等离子体,根据产生等离子体时应用的气体的化学性质不同,可分为不活泼气体等离子体和活泼气体等离子体两类,不活泼气体如氩气(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)等,活泼气体如氧气(O2)、氢气(H2)等,不同类型的气体在清洗过程中的反应机理是不同的,活泼气体的等离子体具有更强的化学反应活性,这将在后面结合具体应用实例介绍。

2.4 等离子体与物体表面的作用

在等离子体中除了气体分子、离子和电子外,还存在受到能量激励状态的电中性的原子或原子团(又成自由基),以及等离子体发射出的光线,其中波的长短、能量的高低在等离子体与物质表面相互作用时有着重要作用。

2.4.1 原子团等自由基与物体表面的反应

由于这些自由基呈电重型,存在寿命较长,而且在离子体中的数量多于离子,因此自由基在等离子体中发挥着重要作用,自由基的作用主要表现在化学反应过程中能量传递的“活化”作用,处于激发状态的自由基具有较高的能量,因此易于与物体表面分子结合时会形成新的自由基,新形成的自由基同样处于不稳定的高能量状态,很可能发生分解反应,在变成较小分子同时生成新的自由基,这种反应过程还可能继续进行下去,最后分解成水、二氧化碳之类的简单分子。在另一些情况下,自由基与物体表面分子结合的同时,会释放出大量的结合能,这种能量又成为引发新的表面反应推动力,从而引发物体表面上的物质发生化学反应而被去除。

2.4.2 电子与物体表面的作用

一方面电子对物体表面的撞击作用,可促使吸附在物体表面的气体分子发生分解和解吸,另一方面大量的电子撞击有利引起化学反应。由于电子质量极小,因此比离子的移动速度要快的多,当进行等离子体处理时,电子要比离子更早达到物体表面,并使表面带有负电荷,这有利于引发进一步反应。

2.4.3 离子与物体表面的作用

  通常指的是带正电荷的阳离子的作用,阳离子有加速冲向带负电荷表面的倾向,此时使物体表面获得相当大的动能,足以撞击去除表面上附着的颗粒性物质,我们在这种现象称为溅射现象,而通过离子的冲击作用可促进物体表面化学反应发生的几率。

2.4.4 紫外性与物体表面的反应

  紫外性具有很强的光能,可使附着在物体表面物质的分子键发生断裂而分解,而且紫外线具有很强的穿透能力,可透过物体的表面深入达数微米而产生作用。

等离子清洗是利用等离子体内的各种具有高能量的物质和活化作用,将附着在物体表面的污垢剥离去除。