等离子清洗作用如下：
第一，表面清洗：清洗金属表面油脂、油污、以及肉眼看不到油脂颗粒等有机物及氧化层。 ?第二，表面刻蚀：通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相排出。 第三，表面改性：以聚四氟乙烯（PTFE）为例，在其未做处理的情况下，不能印刷或粘合。使用等离子处理可以使表面最大化，同时在表面形成一个活性层，这样PTFE就能进行粘合、印刷操作。 ?第四，表面活化：主要用于清理塑料、玻璃、陶瓷与聚乙烯(PE)、聚丙烯（PP）、聚四氟（PTFE）、聚甲醛 ?（POM）、聚苯硫醚(PPS)等无极性材料的。 ?第五，表面涂镀：在等离子涂镀中，两种气体同时进入反应舱，气体在等离子环境下会聚合。这种应用比活化和清洗要求严格得多。典型的应用是形成保护膜，用于燃料容器，防刮表层，类似聚四氟（PTFE）材质的涂镀，防水镀层等。（分解聚合物）。
