小型等离子表面处理机

小型等离子表面处理机TS-PL02

  • 产品编号:TS-PL02
  • 产品规格: 小型等离子表面处理机
  • 产品用途:

    污染物清除、表面活化、粘合前处理

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产品介绍

型号 小型等离子表面处理机TS-PL02
外形尺寸 550*600*400(L*W*H)
腔体尺寸  直径100*270
腔体材质 316不锈钢
功率 300W
控制方式  人机界面
气体通道  两路工作气体
真空度 30Pa-100Pa
等离子发生器 40KHz

小型等离子表面处理机清洗原理

等离子清洗分为化学清洗、物理清洗及物理化学清洗。针对不同的清洗对象可选择O2、H 2和Ar等 工艺气体进行几十秒的表面处理。

1.1 化学反应为主的清洗

利用等离子体里的高活性自由基与材料表面的有机物等做化学反应,又称PE。采用氧气进行清洗,使非挥发性的有机物变成易挥发的形态,产生 二氧化碳、一氧化碳和水。化学清洗的优点是清洁 速度高、选择性好和对清洗有机污染物比较有效, 主要缺点是生成的氧化物可能在材料表面再次形 成。在引线键合工艺中,氧化物是最不希望有的, 这些缺点可以通过适当选择工艺参数进行避免。

1.2 物理反应为主的清洗

利用等离子体里的离子做纯物理的撞击,把材料表面附着的原子打掉,也称为溅射腐蚀(SPE)。 采用氩气进行清洗,氩离子以足够的能量轰击器件表面,撞击力足以去除任何污垢。聚合物中的大分子化学键分离成小分子而汽化,通过真空泵排出。同时经过氩等离子清洗后,能够改变材料表面的微观形态,使材料在分子级范围内变得更加“粗 糙”, 可大幅改善表面活性,提高表面的粘结性能。氩等离子的优点是清理材料表面不会留下任何氧化物。缺点是可能发生过量腐蚀或污染物颗粒重 新积聚在其他不希望的区域,但是这些缺点可通过 细调工艺参数得到控制。

1.3 物理化学反应同时存在的清洗

反应中物理反应与化学反应均起重要作用的 清洗。 如采用Ar和O2的混合气体进行在线式等离子清洗过程时,反应速率比单独使用Ar或O2都要快。氩离子被加速后,产生的动能又能提高氧离子的反应能力,因此用物理化学方法可清除污染较为严重的材料表面。

小型等离子表面处理机采用电感耦合式工作原理,在微波管、零件绝缘方面作用很突出,适用于高洁净度的敏感产品处理;广泛地被大中院校、科研机构、企业研发机构,实验室和企业小批量试产阶段采用。其产品主要应用在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术、牙科医疗等领域中的污染物清除、表面活化、粘合前处理、表面化学改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料,并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。

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