等离子清洗机如何保养?

俗话说,工欲善其事,必先利其器,一个好的工具往往能让工作事半功倍。又说:功夫再高也怕菜刀,机器再好也要保养。所以下面就为大家分享一些常见的等离子清洗机保养事宜:

等离子清洗机保养事项:

1、定期检查真空泵油

每月定期查看真空泵油位和油的纯度,观察油位视窗,油位接近最低红线刻度时,则添加到油红标线上下之间位置;观察油的颜色,正常的油为清洁透明,当油出现浑浊(油颜色变灰褐色或者油位视窗模糊不清)、真空泵噪音异常,则及时更换真空油。

2、清洗反应腔室

首先脱脂棉布沾无水乙醇(俗称酒精)擦拭(不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃)真空腔体。

其次腔体导入(氩气+氧气)或(氮气+氧气),用等离子体清除腔体内残余物。工作10分钟,每月至少一次。

3、检查输气管道的完整性及真空密封性

定期检查真空系统的完整性,这种检查应该在彻底的清洗反应室之后,以避免污染物遗漏在腔体中。

定期检查反应腔体门密封条是不是松动。

检查各管路是否连接紧固,老化等问题。

4、检查电源连接

电压是否与设备匹配(设备的电压为220V)。

等离子清洗机

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