等离子表面处理是指非聚合性无机气体（如Ar、N2、O2、H2等）的等离子体对高分子材料表面的物理或化学的作用过程。参与表面反应的有激发态分子、自由基和离子，也包括等离子体辐射紫外光的作用。

等离子体的能量可以通过光辐射、中性分子流和离子流作用于材料表面，这些能量的消散过程就是材料表面获得改性的过程。低温等离子体能发出可见光、紫外光和红外光，其中紫外光不仅能被材料强烈吸收，并能使表面产生自由基，所形成的活性位置就会继续和等离子体中的气体组分发生化学反应,引起一系列的表面改性。中性粒子通过自身的自由基离解能引起材料表面各种化学反应（脱氢、氧化、加成)。离子流与表面撞击引起表面刻蚀和加热，也会引起与中性流类似的反应。这三种作用共同组成低温等离子体改性材料表面的原理。

低温等离子体能够有效的改善材料的表面性能，包括润湿性、粘合性、染色性、印刷性、防静电性、拒水性和拒油性及其他性能等等。低温等离子体对材料的作用只发生在其表面几十至数千埃厚度范围内，能使材料表面性能显著改善而材料本体性能不受影响，同时又具有高效、低成本、环保的优点。