真空等离子清洗机选型指南

等离子清洗的应用,起源于20世纪初,随着高科技产业的快速发展,其应用越来越广,目前已在众多高科技领域中,居于关键技术的地位。等离子清洗技术对产业经济和人类文明影响最大,首推电子资讯工业,尤其是半导体业与光电工业。随着越来越多行业应用到等离子清洗机,怎么选择适合自己的等离子清洗机就成为了人们的一个问题,今天我们就来谈谈真空等离子清洗机该如何选型。

真空等离子清洗机该如何选型,我们主要从以下几个方面来考虑。

首先我们我们从腔体大小来确定等离子清洗机的型号,腔体大小主要从以下两个方面予以考虑。

一、工件的大小

一般来说真空等离子清洗机的分类的话主要是按照腔体尺寸和腔体材质来分的,选择腔体尺寸时第一个要考虑的就是工件大小,也就是我们至少要能把工件放下去,如果工件连放都放不下去,再考虑其他因素也没有多大的意义。

二、产能

任何产品如果有产能要求的话,肯定是需要根据产能来选腔体大小,腔体越大也就意味着一次能处理的产品也就更多,如果对产能没有太多要求的话,优先考虑工件大小。在工件能够放下的前提下,我们在根据产能计算得出合适的腔体尺寸。

第二个我们要考虑的问题,就是选择哪种频率的等离子清洗机

频率的选择

目前常见的频率有40KHz和13.56MHz,20Mhz。40kHz的自偏压为1000V左右,13.56MHz自偏压为250V左右,20MHz的自偏压则更低,这三种激发频率的机制不同,40kHz发生的反应为物理反应,13.56MHz发生的反应既有物理反应又有化学反应,20MHz有物理反应但更主要的反应为化学反应,需要对材料进行活化、改性的要用13.56MHz或者20MHz的等离子体清洗40kHz的自偏压为1000V左右,13.56MHz自偏压为250V左右,20MHz的自偏压则更低,这三种激发频率的机制不同,40kHz发生的反应为物理反应,13.56MHz发生的反应既有物理反应又有化学反应,20MHz有物理反应但更主要的反应为化学反应,需要对材料进行活化、改性的要用13.56MHz或者20MHz的等离子体清洗。

腔体材质的选择

目前常见的腔体材质有以下几种,石英腔体,不锈钢腔体,铝合金腔体,三种腔体各有各的优势,石英腔体温度低,且不易发生反应。铝合金腔体的优势:1、 铝合金密度低,强度高,超过优质钢,机械加工性能比较好。 2、 铝具有优良的导电性、导热性和抗蚀性。 3、材料对化学反应的兼容性比较好,不易产生金属污染、particle等。

真空泵的选择

是选择国产的泵,还是进口的,是干泵还是油泵,是单级泵,还是双极泵,每一种真空泵的选择都可以根据客户的实际需要来选取,这里就不做过多的赘述。

气路的选择

常见的真空等离子清洗机都是两路气体通道,但是这并不能满足所有的处理需求,如果需要更多的反应气体,那么气体通道就要适当增加,这个也是根据客户的实际需求来选择几路气体通道。

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