等离子清洗机

  • 产品编号:TS-PL
  • 产品规格: 等离子清洗机
  • 产品用途:

    增加物体的表面能,改善浸润特性和粘合性

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产品介绍

等离子清洗机原理及特性:

由高能高活性粒子( 电子、离子、自由基、光子、 中性粒子) 组成的等离子体是区别于常见的固体、 液体和气态之外的第四态。等离子体中的粒子活性高,很容易和固体表面发生反应。通常等离子清洗技术对于分子级别的污染物去除效果明显,通过等离子清洗将会显著增加物体的表面能,改善浸润特性和粘合性。

等离子清洗属于一种高精密的干式清洗方式,原理是在真空状态下利用射频源产生的高压交变电场将 氧、氩、氢等工艺气体激发成具有高反应活性或高能量的离子,通过化学反应或物理作用对工件表面进行处理,实现分子水平的沾污去除(一般厚度为 3 ~ 30nm),提高表面活性。对应不同的污染物,应 采用不同的清洗工艺,达到最佳的清洗效果。清洗原理见图 2、图 3、图 4 及反应式 :等离子清洗原理

化学清洗 : 表面反应以化学反应为主的等离子体清洗。

例 1 :O2+e_→ 2O※+e 

O※+ 有机物→ CO2+H2O (1)

氧等离子体通过化学反应可使非挥发性有机物变 成易挥发的 H2O 和 CO2,见图 2。

例 2 :H2+e_→ 2H※+e 

H※+ 非挥发性金属氧化物→金属 +H2O (2)

氢等离子体通过化学反应可以去除金属表面氧化 层,清洁金属表面,见图 3。

物理清洗 :表面反应以物理反应为主的等离子体清洗。

例 :Ar+e_→ Ar ++2e 

Ar++ 沾污→挥发性沾污 (3)

Ar+在自偏压或外加偏压作用下被加速产生动能, 轰击清洗工件表面,去除微颗粒污染物,同时进行表 面能活化,见图 4。

等离子清洗机处理前后对比:

液体在固体材料表面上的接触角, 是衡量该液体对材料表面润湿性能的重要参数,若θ<90°,则固体表面是亲水性的,其角越小,表示润湿性越好;若θ>90°,则固体表面是疏水性的。

等离子处理前后水滴角对比

达因值的测量在印刷、涂层、覆膜、焊接等应用非常常见,可反映出材料表面容不容易结合,一般而言,达因值越大,表面与另一种材料的结合性能越佳。

等离子处理前后达因值对比

 

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