等离子体发生器的分类:

1 高频感应等离子体发生器 又称高频等离子体炬,或称射频等离子体炬。它利用无电极的感应耦合,把高频电源的能量输入到连续的气流中进行高频放电。

2 电弧等离子体发生器 又称电弧等离子体炬,或称等离子体喷枪,有时也称电弧加热器。它是一种能够产生定向“低温”(约 2000~20000开)等离子体射流的放电装置。

3 低气压等离子体发生器 一种低气压气体放电装置,一般由三部分组成:产生等离子体的电源、放电室、抽真空系统和工作气(或反应气)供给系统。

通常有四类:静态放电装置、高压电晕放电装置、高频(射频)放电装置和微波放电装置。

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