真空石英等离子清洗机
- 产品编号:TS-SY05
- 产品规格: 真空石英等离子清洗机
- 产品用途:
镀膜基片、光学器件、生物医学、沉积凝胶的基片
产品介绍
名称 |
真空石英等离子清洗机 |
型号 |
TS-SY05 |
外形尺寸(W×H×D) |
600×420×320mm |
反应腔容量 |
Φ160×240mm |
反应腔体材料 |
石英 |
真空泵 |
BOSS合资4L/S |
角阀 |
超真空40KF |
射频电源 |
13.56MHZ |
PLC系统 |
松下 |
电气系统 |
施耐德 |
触摸屏 |
松下4.3寸 显控 |
陶瓷封装 |
进口高频陶瓷 |
处理气体 |
O2、Ar2、N2、H2、CF4 |
输出功率 |
0-300W可调 |
真空石英等离子清洗机产品特点
绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染、操作简便、使用和维护成本极低。
真空石英等离子清洗机适用领域
石英型等离子清洗器采用电感耦合式工作原理,在微波管、零件绝缘方面作用很突出,适用于高洁净度的敏感产品处理;广泛地被大中院校、科研机构、企业研发机构和实验室采用。其产品主要应用在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术、牙科医疗等领域中的污染物清除、表面活化、粘合前处理、表面化学改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料,并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。