石英真空等离子清洗机

真空石英等离子清洗机

  • 产品编号:TS-SY05
  • 产品规格: 真空石英等离子清洗机
  • 产品用途:

    镀膜基片、光学器件、生物医学、沉积凝胶的基片

产品介绍

名称

真空石英等离子清洗机

型号

TS-SY05

外形尺寸(W×H×D)

600×420×320mm

反应腔容量

Φ160×240mm

反应腔体材料

石英

真空泵

BOSS合资4L/S

角阀

超真空40KF

射频电源

13.56MHZ

PLC系统

松下

电气系统

施耐德

触摸屏

松下4.3寸 显控

陶瓷封装

进口高频陶瓷

处理气体

O2、Ar2、N2、H2、CF4

输出功率

0-300W可调

真空石英等离子清洗机产品特点

绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染、操作简便、使用和维护成本极低。

真空石英等离子清洗机适用领域

石英型等离子清洗器采用电感耦合式工作原理,在微波管、零件绝缘方面作用很突出,适用于高洁净度的敏感产品处理;广泛地被大中院校、科研机构、企业研发机构和实验室采用。其产品主要应用在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术、牙科医疗等领域中的污染物清除、表面活化、粘合前处理、表面化学改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料,并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。