湿法清洗

湿法清洗顾名思义是需要引入溶液的一种清洗方式，湿法清洗一般包括蒸汽清洗，溶液浸泡清洗和旋转喷淋清洗等。

1.蒸汽清洗

蒸汽清洗是指将蒸发到表面的蒸汽热气流与金属表面的污染物混合，一起随蒸汽排出而达到清洗的目的。蒸汽清洗广泛应用在有色金属和不锈钢的清洗上。但由于需要除锈所以不用在钢铁上。

2.溶液浸泡清洗

溶液浸泡清洗正如其字面意思就是将待清洗件浸泡到溶液中以达到清洗的目的，现如今溶液浸泡清洗是金属表面清洗最常用的方式之一。因为溶液浸泡清洗需要将待清洗件浸泡到溶液中所以一般的溶液浸泡清洗过程包括选择溶液、浸泡清洗、漂洗以及最后的干燥四部分组成。在清洗之前需要根据表面的污染物类型选取合适的溶液，在清洗中需要将待清洗件浸泡到溶液中，此时要确保待清洗件全部浸泡在溶液中，溶液中的化学物质与基片表面的污染物发生化学反应从基片表面脱落并溶解在溶液中，随后对基片进行漂洗将基片表面残留的污染物以及溶液残留洗掉，最后一步就是对基片进行烘干以防再一次的污染。溶液浸泡清洗基于液体的流动性所以可以满足各种形状类型的工件需求，同时所用时间比较少，且一次能够清洗大量的基片。但是因为污染物溶解在溶液中所以不可以多次的重复使用，而且清洗之后会产生大量的废液，如果对这些废液处理不当就会对环境造成较大的污染，所以这同样增加了清洗的成本。通常为提高溶液清洗的效率以及清洗效果通常与其他清洗方式结合在一起使用，例如超声波清洗等，最常见的是利用超声波以及溶液清洗眼镜和首饰。

3.旋转喷淋清洗

旋转喷淋清洗是将待清洗件固定在高速旋转的装置上，随后通过喷淋头向金属表面喷洒化学溶液，此化学溶液因为可以与金属表面的污染物发生化学反应，所以化学溶液的选取应该和金属表面污染物类型相对应。此时因为金属板在高速旋转所以会与溶液有了一个相对速度也可以理解为离心力，化学溶液会带着污染物脱离金属的表面。这种方法只适用于表面比较平整的工件。不管何种湿法清洗都要重视废液的处理，防止对环境造成比较大的污染。

干法清洗

干法清洗是利用加压或者真空泵抽取的方式来达到清洗的目的，如吸尘器等。近年来因为干法清洗能够精准控制、清洗比较彻底以及不需要引入新杂质不会造成二次污染等，同时相较于湿法清洗有其独有的优势，所以发展越来越迅速，相关研究也层出不穷。干法清洗中一般包括机械清洗、超声波清洗、干冰清洗和等离子体清洗等。下面就几种干法清洗方式做以简单的介绍。

1.机械清洗

机械清洗是利用简单机械对要清洗物件进行清洗的一种方法。根据使用简单机械的主体的不同分为人工清洗以及自动清洗。人工清洗是以人为施工主体，人使用简单机械对工件表面施加外力去除污染物。自动清洗是机械的自动化。自动清洗相对于人工清洗效率高、成本低。

2.超声波清洗

超声波清洗一般都搭配溶液清洗一起使用，在超声波容器中加入液体，通过超声波高频振荡，挤压液体使溶液压缩或膨胀，溶液膨胀会使得溶液分子内部形成间隙类似于空穴，这些空穴会将已经溶解在溶液中的气体分子吸入形成气泡，在此同时溶液被压缩，气泡破裂产生近乎于爆炸的效果从而将基片表面的污染物轰击下去，长此以往可以不断地轰击金属表面而使表面污染物脱离，从而达到对其清洗的目的，同时选用恰当的溶剂也可以与污染物发生相应化学反应，达到双重清洗的目的。

3.干冰清洗

干冰是一种易挥发的固体。在清洗过程中通过把干冰喷向金属表面，干冰会在升华过程中吸收大量的热量，周边温度会迅速下降，从而使金属表面污染物结构脆化断裂。同时干冰在升华过程中体积会迅速膨胀而在金属表面形成类似“微型爆炸”的效果将金属表面污染物冲落。而且干冰升华后生成旳是二氧化碳气体，不会造成对环境造成二次污染。

4.等离子清洗

在清洗过程中通过射频电源电离真空腔内气体产生等离子体，等离子体具有高能量可以通过物理作用轰击金属表面使金属表面的污染物从金属表面脱落，其次电离某种气体可以产生对应的活性粒子，活性粒子会与表面的有机物或者氧化物等发生化学反应进而生成易于挥发的物质可以被真空泵排出反应腔体达到清洗物体表面的效果。等离子清洗技术因为其操作简便、成本低等优势，所以应用范围越来越广，关于等离子清洗的研究也越来越受到重视。