等离子体是一种含有自由电子、离子和自由基的被电离气体。等离子体与外加电磁场存在相互作用，这种作用会影响其内部的自洽电磁场中的带电离子，使等离子体的流体特性得到提高，从而产生诸如流动性、波动性、不稳定性以及自组织性等集体效应。等离子体中的每种粒子都有相对独立的能量状态分布，每种粒子所维持的能量状态分布并非在等离子体中是保持等值平衡的。等离子体内部能量是由热能、电场能、磁场能和辐射场所构成的，这些能彼此相互影响和转换，使得等离子体能在一个更宽广范围的、多维参数相互关联的空间里存在。

真空等离子清洗机构成：

真空离子清洗机由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器、真空腔休、机械等几个部分够成，可以根据客户的特殊要求定制符合客户需要的真空系统，真空室。容易采用数控技术，自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高；正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；由于是在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染。

真空等离子清洗机内部构成

真空等离子清洗机结构简介：

• 清洗仓：提供真空环境完成等离子体清洗。
• 射频系统：提供高频电压，激发等离子体。
• 真空系统：用于抽真空，以提供90Pa以下负压工作条件。
• 控制系统：对整个系统进行控制，实现多种工作模式。
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真空离子清洗机广泛应用于表面去油及清洗等离子刻蚀，聚四氟（PTFE）及聚四氟混合物的刻蚀、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等离子涂镀聚合等工序，又应用于汽车电子领域、军工电子领域、PCB制成行业等高精密度领域。

真空离子清洗机工作原理：

真空等离子清洗机两个电极形成电磁场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或郭的自由运动距离也越来越长，受磁场作用，发生碰撞而形成等离子体，同时会发生辉光，等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，达到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有机物，以及其它化学物质，从而达到表面处理、清洗和刻蚀效果，经过等离子处理工艺可以实现有选择的表面改性。

真空等离子清洗机清洗原理：

当等离子体与被清洗物体表面相互作用时，一方面利用等离子体或者是等离子激活的化学活性物质与材料表面污物进行化学反应，如用等离子体中的活性氧与材料表面的有机物进行氧化反应。等离子体与材料表面有机污物作用，把有机污物分解为二氧化碳、水等排出。另一方面利用等离子的高能粒子对污物轰击等物理作用，如用活性氩等离子体清洗物件表面污物，轰击使其形成挥发性污物被真空泵排出。

真空等离子清洗机工作过程：

真空等离子清洗机包括一个反应腔室、电源和真空泵组。样品放置反应腔室内，真空泵开始抽气至一定的真空度，电源启动便产生等离子体，然后气体通入到反应腔室，使腔室中的等离子体变成反应等离子体，这些等离子体与样品表面发生反应，生产可挥发的副产物，并由真空泵抽出。