大气等离子清洗机能清洁的污染物类型与厚度?

大气等离子清洗机虽然可以快速的清洁处理污染的表面,但仍有极限;我们作为厂家常常遇到客户想要以大气等离子清洗机清洁指纹、灰尘等;在清洁应用上,大气等离子清洗机是以化学反应方式将污染物氧化成CO2、CH4等挥发性物达到移除污染物之目的,因此无机类的污染物无法简单的以N2,或空气大气等离子去除,必需加入特别的气体,因此建议使用真空型式等离子清洗设备来处理无机污染物。另外,油污的厚度若太厚如指纹,需要较长的处理时间,此时需要考量试片的耐温性及处理成本,一般都会建议先以湿式清洁方法先去除大部份污染物后,最后再由大气等离子清洗机处理湿式方式无法清掉的部份;基本上小于100nm的有机污染物才会选择以大气等离子清洗机来处理。

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