航天高精度仪表（陀螺和加速度计）是惯性测量和制导系统中的基本测量元器件，通常安装在箭（弹）体内，通过对速度、角度的测量和积分获取箭（弹）体的方位、姿态和轨道等重要信息。因此，仪表的性能和精度直接影响了制导系统的精度和可靠性。航天高精度仪表内部结构复杂、紧凑，机械加工和装配精度要求非常高（如图1所示），部分关键组件的尺寸精度、形状误差和配合精度达到了微米和亚微米级，表面粗糙度甚至小于Ra0.025μm。因此，极微量的多余物就会对仪表可靠性带来重要影响，严重时甚至发生饱和输出异常、马达卡死、参数漂移、精度超差甚至失效等故障。清洗是有效清除和避免多余物的重要方法之一。在高精度仪表成百上千个大大小小零组件的机加和装配过程中，清洗工艺始终贯穿于各个环节。

等离子清洗在航天高精密仪表中的应用：

等离子清洗是通过电晕放电、高能射线、激光等产生等离子体，利用高能量粒子的轰击或者活性粒子与污物分子的化学反应形成挥发性物质，在真空作用下这些反应物被抽走，最终达到清洗的目的。与其他方法相比，等离子清洗具有效率高、成本低、清洗彻底、提高表面浸润性等特点，但不能较厚残留物去除。在航天高精密仪表中等离子清洗常用于陀螺中马达定、转子铁芯叠片粘接前的表面活化处理以及浮子、浮筒、接线柱等部位的粘接或焊接前处理。

随着清洗技术的快速发展和环境保护的日益严格，传统有机溶剂清洗和水基清洗工艺方法逐渐朝着低毒、环保、节约型方向发展，等离子清洗、超临界CO2清洗、激光清洗以及其它清洗工艺日益成熟，在高精度仪表零部件清洗中开始应用。但清洗方法都有自身的局限性，精密仪表零部件众多，若采用同一清洗方法，清洗效果不理想。航天高精度仪表清洗工艺必须符合零组件自身材质、结构等特点，在保证清洗质量的前提下，开发组合式、高效、环保、节约型自动清洗工艺和装备，满足更高性能、更高精度精密仪表的发展需求。等离子清洗以其自身优势，在航天高精密仪表领域中的运用也越来越多。

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