在等离子清洗机中，不同气体产生的等离子颜色是不一样的，从物理学上面来说，这是因为不同的光波动的频率不一样的缘故，人的眼睛对于不同的频率会有不同的感觉，所以看起来不同的光颜色都不相同。

如果等离子出了问题，有经验的师傅，只需要看一下等离子发的光就知道是怎么回事。

等离子清洗机为什么会发光呢？原因就在于等离子清洗机在使用过程中，会使用不同的气体进行工艺处理。不同气体中的能级均具有不同的能量转换，不同工艺气体显示了不同特点的发光，并因此产生不同特征的颜色。每种气体电子跃迁时发出的光波长都不一样，所以也就能够看到不同颜色的辉光了。当然你加大功率到一定程度看起来都是白光，因为光子太多了。

经常在等离子清洗工艺流程中使用的气体的典型颜色如下所述：

　　CF4：蓝色

　　SF6：淡蓝色

　　SiF4：浅蓝色

　　SiCl4：浅蓝色

　　Cl2：浅绿色

　　CCl4：浅绿色

　　H2：粉红色

　　O2：淡黄色

　　N2：红色至黄色

　　Br2：红色

　　He：红色至紫色

　　Ne：砖红色

　　Ar：暗红色

真空（低压）等离子清洗机产生等离子体的能量，除了与气体本身的特性有关，与等离子体产生的条件或者说环境有关系，包括维持的真空度、施加功率、激发频率、电极结构、气体种类等。