等离子清洗机与材料表面发生反应既有物理反应，又有化学反应，通过反应，材料的表面会变的粗糙，同时也可以使氧化物还原，使材料表面的亲水性、粘结性、可染色性、生物相容性及电性能分别得到大幅度的提高。

等离子清洗机的功能主要包括4个类型：

• 等离子清洗功能。通过等离子的清洗可以去除基体材料表面的无机物或弱键以及典型-CH 基有机污染物和氧化物。不过等离子清洗的厚度只有纳米级别，如果是除油除锈肯定就要换其它的工艺。如超声波清洗或者喷砂等工艺。等离子清洗主要是提升材料表面的亲水性能，对材料本身基本没有什么影响。如图所示：

• 等离子活化功能

等离子与基体材料发生化学反应在表面形成C=O羰基（Carbonyl） 、-COOH羧基（Carboxyl） 、−OH羟基（Hydroxyl）三种基团。这些基团具有稳定的亲水功能，对粘接有积极作用。

等离子能够生成新的活性基团，显著改善材料表面的化学特性，从而提升材料表面的吸附能力和粘接能力。如图所示：

• 等离子刻蚀效果

等离子刻蚀的原理是利用典型的气体组合形成具有强烈蚀刻性的气相等离子体与基体材料发生化学反应，生成如CO、CO2、H2O等挥发气体，从而达到蚀刻的目的。东信最新研发的等离子刻蚀机已经投入使用了。不过整体来说，国内做等离子刻蚀的机器主要还是靠进口。用来做刻蚀的机器好多公司都是用美国March 的机器

• 等离子接枝

其原理是两种以上气体（或单体）同时进入反应腔体，气体在等离子环境下会聚合。这种应用比活化和清洗的要求更严格一些。典型的应用是保护层的形成，应用于燃料容器、防刮表面、类似聚四氟乙烯(PTFE)材质的涂镀、防水镀层等。

主要特点：可使材料表面分子链发生断裂产生新的自由基、双键等活性基团，随之发生交联、接枝等反应；同时活性气体会在材料表面聚合产生一层沉积层，此沉积层的存在将极大地提高材料表面的粘接、涂覆和印刷的结合力。如图所示：