TS-VPM10-MA等离子表面处理机/小型等离子清洗机

  • 产品编号:TS-VPM10-MA
  • 产品规格: 东信高科
  • 产品用途:

    碳材料、粉体等离子体处理

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产品介绍

1.针对于对等离子体处理有严苛要求的场合中使用,等离子源才用频率为13.56MHz射频发生器,兼顾物理反应和化学反应

2. 采用500W功率电源,自动阻抗匹配,高功率射频发生器可应对各种实验要求,保障高能量密度和高处理效率

3. 高精度真空度控制,适应各种处理需求

4. 316不锈钢腔体(或者6061铝合金),全不锈钢管路和连接件,适用各种气体(包含腐蚀性气体)

5. 4.3寸工业级触摸屏,软件操作方便,多种参数设置和工艺组合处理模式

6. 可增加多种配件,涂覆镀膜,电极温度控制,等离子体强度控制,等离子体化学反应等功能

1.配置不同模块,拓展不同应用

加热电极模块-温度可控,可以加速等离子体处理速度和极大提高样品处理的均匀性

沉积镀膜模块,改变表面特性:

沉积CF材料,样品表面可以具有憎水的特性

沉积含苯材料,样品表面起到绝缘防水的特性

沉积含有羟基的材料,提高样品表面和其他材料的结合效果

感应耦合模块-感应耦合等离子体装置

2.气体混合装置

可以根据可以要求进行混气设计

3.气体纯化和反应

气体纯化和使用等离子体与相关材料进行化学反应

处理实例:玻璃片不同处理条件下接触角的变化(在实际操作中,选择合适的工艺参数尤为重要)

检测设备:接触角测量仪? ? 测试液体 水液滴体积 1ul
等离子设备:真空等离子表面处理机PlutoM

在氧等离子体环境下,不同功率处理后接触角都有明显改善,
由处理前的接近50°下降到5°以内,说明润湿性提高很多。
功率为140W时,接触角的改善是最明显的;
但随着功率增大到150W,效果反而不如140W。

在氩气等离子体环境下,不同功率处理后接触角都有明显改善,
由处理前的接近50°下降到5°以内,说明润湿性提高很多。
功率为140W时,接触角的改善是最明显的;
但随着功率增大到150W,效果反而不如140W。

在相同的氧气气氛和功率下,不同时间处理后的接触角都有明显改善,
但随着处理时间为2min以上,处理效果并没有提升,说明并非处理时间
越长效果越好,需要根据样品选择最佳的处理时间。
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