低温等离子清洗机

  • 产品编号:低温等离子清洗机
  • 产品规格: 东信高科
  • 产品用途:

    金属表面油脂、油污等有机物及氧化层处理

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产品介绍

低温等离子体的电离率较低,电子温度远高于离子温度,离子温度甚至可与室温相当。所以低温等离子体是非热平衡等离子体。低温等离子体中存在着大量的、种类繁多的活性粒子,比通常的化学反应所产生的活性粒子种类更多、活性更强,更易于和所接触的材料表面发生反应,因此它们被用来对材料表面进行改性处理。

低温等离子清洗机应用:
等离子清洗 – 等离子刻蚀 – 等离子去胶 – 等离子活化
金属表面去油及清洗金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层,在进行溅射、油漆、粘合、键合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等离子处理来得到完全洁净和无氧化层的表面。
等离子处理作用原理:
灰化表面有机层-表面会受到物理轰击和化学处理
-在真空和瞬时高温状态下,污染物部分蒸发
-污染物在高能量离子的冲击下被击碎并被真空泵抽出
-紫外辐射破坏污染物 因为等离子处理每秒只能穿透几个纳米的厚度,所以污染层不能太厚,指纹也适用。
氧化物去除
金属氧化物会与处理气体发生化学反应
这种处理要采用氢气或者氢气与氩气的混合气体。有时也采用两步处理工艺。第一步先用氧气氧化表面,第二步用氢气和氩气的混合气体去除氧化层。也可以同时用几种气体进行处理。

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