等离子清洗机清洗油质污染物

不锈钢中碳的含量低于1%,在不锈钢表面采用铬氧化物钝化后,表面就看不到碳了。事实上,金属的表面非常活跃,一般会在在表面形成10~30个原子层厚度的外来物薄层。这一薄层中含有外界环境中吸附的氧原子、水和碳水化合物。用在机械制造领域中的不锈钢表面常有一层原子百分比达50~100的富碳层。最外表面的40~80A厚度范围内几乎全部由碳组成。这种受过量的碳污染的界面层会对后续的键合、印刷、装饰和镀膜造成危害。

采用频率为13.5MHz的射频电源放电产生等离子体,功率为300W时的清洗速率可达2um/min。当压强为0.2mbar时,清洗速率最佳;压强过低时,反应不充分;压强过高时,离子的轰击能量又不足。在低气压时,采用外加磁场可以把清洗效率提高50%。采用平板阴极放电清洗的效果要比空心阴极放电的清洗效果好。

清洗效率与被清洗表面的温度密切相关,温度为140摄氏度时清洗效果达到最佳。光谱与质谱分析可以作为清洗过程的终点检测手段,从而使工业系统中的清洗过程自动化的实现成为可能。增加离子的轰击能量可以将清洗速率提高数倍。例如,在低压(0.5mtoor)时,提高Ar/O2等离子体中的高能离子能量后,油膜的清洗速率从0.3um/min提高到了2.7um/min

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